國產射頻電源開始打破進口壟斷
發布時間：2018-07-31 13:49瀏覽次數：
光伏行業
在太陽能的前端制作設備中PECVD和刻蝕工藝的核心設備用到射頻電源和自動匹配器，我們有非常專業的國外技術，為您提供最優質的產品。
成功應用9-12臺匹配器到一個單腔體多極板的PECVD系統中，打破國外產品在該領域的壟斷。并與多家太陽能公司替換損壞的AE匹配器。
半導體工藝應用
半導體工藝中的刻蝕機、濺射臺和PECVD機等，半導體的刻蝕技術、PVD和等離子體清洗均需用到射頻電源和自動匹配器，在半導體這個大行業中我們的產品的到了實際的考驗，并獲得很多好評，因此，我們會再接再厲做到最好，替代國內8寸線上的進口射頻電源盒匹配器，解決設備上的射頻電源和自動匹配器老化和無人維修的難題。
真空行業
國內大部分真空設備廠家所使用的匹配網絡不是自動的，我們可以為客戶提供不同阻抗范圍的自動匹配器，盡可能滿足客戶的相關要求。成功匹配國內電子管電源，達到自動匹配效果。與國內大學和研究所合作替換原有設備上的電子管電源和手動匹配器，使設備能大幅提高。